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TEMESCAL精密電子束蒸發鍍膜系統
美國Temescal成立于1952年,是真空電子束蒸鍍技術的業界領先者,提供先進的精密鍍膜系統以及電子槍組件。Temescal在精確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經驗與獨到的技術,典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫,可獲得優秀的薄膜沉積均勻性和一致性。 Temescal的工藝實現能力包括:高均勻性多層膜系工藝設計,技術領先的電子槍及控制電源,潔凈無油真空系統,適合量產的真空鎖腔室結構,獨有設計的精密工件架,全自動薄膜工藝控制系統等等。
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