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  • FC/BCD-2800

FC-2800和BCD-2800 中型生產設備或大尺寸晶圓研發用設備
 
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Temescal系統是為更高效率、高精準鍍膜產能而設計的生產型設備。這個指導原則支配著Temescal整個產品線的設計思想。由于杰出的均勻性、精確度和可靠性,Temescal系統已經被全球領先的化合物半導體晶圓廠及代工廠使用了數十年。Temescal經典系列系統具有被制造商及科學家所信賴的傳統設計:優秀的特色性能、強大的生產能力和高均勻性。
 
FC-2800和BCD-2800是適合潔凈室使用的鍍膜機,具有高效生產的特點。它們的源基間距可選34”(866mm) 或者42”(1067mm),適合lift-off工藝。這兩款系統都可以配置成獨立機臺或者穿墻式潔凈室安裝,都支持鍍膜源、材料進給、加熱、清洗等附件的各種組合。



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