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Auto306 適合科研工作者和電子顯微學家的多功能設備

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HHV Auto306是一種多功能的緊湊型鍍膜設備,設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。Auto306可配備各種真空系統、真空腔室和標準化工藝附件,提供一系列實驗技術以滿足現代化實驗室的需要。
 
Auto306可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室,也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度,適用于安裝較多的工藝附件。
 
客戶可選擇的模塊化工藝附件,包括熱阻蒸發源及其控制電源、電子束蒸發源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監控儀等。
 
真空系統由觸屏PLC控制和監控,易于操作;高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵,并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。

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