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  • CTS-6U

 

top half cts1CTS-6U 6kW 微波等離子金剛石CVD系統具有高度可重復的真空完整性設計特點,能夠在接近大氣壓范圍內運行,用于高沉積速率的單晶工藝。它還可以合成高純度的高均勻性和大面積的單晶和多晶。腔室、觀察窗和沉積臺的設計與先進的計算機過程控制相結合,具有無人值守的安全互鎖功能,可以獲得高可靠性、長時間穩定性。CTS-6U是最新一代CVD金剛石反應器,專為滿足高產量、高質量、高性價比的生產和先進的研發要求而設計。


 



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